Microsc. Microanal. Microstruct. 5, 91-103 (1994)
DOI: 10.1051/mmm:019940050209100

S.T.E.M. chemical submicron scale investigations by EELS in the field of materials science

Marie-Claude Cheynet, Soizic Blais, Cyril Barioz et Dominique Duly

Laboratoire de Thermodynamique et Physico-Chimie Métallurgiques (UA.CNRS.29) ENSEEG, BP. 75, 38402 Saint-Martin d'Hères, France

Abstract
The S.TE.M. (V.G. HB/501) is an idéal tool to perform high spatial resolution microanalysis using techniques such as energy dispersive X-ray spectroscopy (EDXS), electron energy loss spectroscopy (EELS) and microdiffraction. On the basis of some experiments performed in the field of materials science -superconducting ceramic YBa 2Cu3 O7-δ, aluminium alloys Al-Mg, cellular precipitation α/β in binary Mg-Al alloys - we illustrate the capacity of the nanoanalytical microscopy to demonstrate and explain different material behaviours, or to test and improve theoretical models.

Résumé
Couplé à un détecteur X, à un spectromètre de pertes d'énergie et un système de microdiffraction, le S.TE.M. (V.G.-HB/501) constitue un outil d'analyse chimique à très haute résolution spatiale. Sur la base d'exemples empruntés à la science des matériaux - céramique supraconductrice YBa2Cu3O7-δ, alliages d'aluminium Al-Mg, précipitation cellulaire α/β dans les alliages binaires Mg-Al - nous illustrons l'intérêt et l'importance de la microscopie nanoanalytique pour mettre en évidence et interpréter différents comportements, pour argumenter différentes hypothèses, ou pour tester et améliorer différents modèles théoriques.

PACS
8170J - Chemical composition analysis, chemical depth and dopant profiling.

Key words
EEL spectroscopy -- Energy-loss spectroscopy -- X radiation -- Radiation detectors -- Electron microscopy -- STEM -- XRD -- Coupled method -- Chemical analysis -- Concentration distribution -- Chemical composition -- Ceramics -- Alloys -- Trace analysis -- Metrology -- Physics -- Spectrometric methods -- Optical methods -- Analytical chemistry -- Chemistry


© EDP Sciences 1994