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Microsc. Microanal. Microstruct.
Volume 7, Number 5-6, October / December 1996
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Page(s) | 303 - 310 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/mmm:1996126 |
Microsc. Microanal. Microstruct. 7, 303-310 (1996)
DOI: 10.1051/mmm:1996126
1 CPE-LISA (CNRS EP 0092), 43 boulevard du 11 Novembre 1918, 69616 Villeurbanne Cedex, France
2 ESSILOR International, Instruments Dpt, 1 rue Thomas Edison, 94028 Créteil Cedex, France
0705P - Image processing.
0760 - Optical instruments and equipment.
Key words
Image analysis -- Automation -- Measuring methods -- Image processing -- Algorithms -- Optical systems -- Optics -- Physics -- Metrology
© EDP Sciences 1996
DOI: 10.1051/mmm:1996126
An Image Analysis Based Full-Embedded System for Optical Metrology
Richard Grisel1, Nicolas Giraud1, Ahmed Haddadi2 et Michel Jourlin11 CPE-LISA (CNRS EP 0092), 43 boulevard du 11 Novembre 1918, 69616 Villeurbanne Cedex, France
2 ESSILOR International, Instruments Dpt, 1 rue Thomas Edison, 94028 Créteil Cedex, France
Abstract
A full-embedded system for automatic measurement in optical
metrology is presented. This paper deals with the theoretical and
practical aspects of the construction of the system, emphasizing
methods used to reach a 0.5 mm precision for the measurements
obtained by the image analysis processing.
Résumé
Nous présentons un système d'analyse d'images dédié à la mesure
automatique de para mètres en métrologie optique. L'article
décrit les aspects théoriques et pratiques de la mise en oeuvre,
en insistant sur les techniques utilisées pour obtenir une
précision de 0,5 mm sur les mesures effectuées.
0705P - Image processing.
0760 - Optical instruments and equipment.
Key words
Image analysis -- Automation -- Measuring methods -- Image processing -- Algorithms -- Optical systems -- Optics -- Physics -- Metrology
© EDP Sciences 1996