Microsc. Microanal. Microstruct. 7, 303-310 (1996)
DOI: 10.1051/mmm:1996126

An Image Analysis Based Full-Embedded System for Optical Metrology

Richard Grisel¹, Nicolas Giraud¹, Ahmed Haddadi² et Michel Jourlin<sup>1

1</sup>  CPE-LISA (CNRS EP 0092), 43 boulevard du 11 Novembre 1918, 69616 Villeurbanne Cedex, France
²  ESSILOR International, Instruments Dpt, 1 rue Thomas Edison, 94028 Créteil Cedex, France

Abstract
A full-embedded system for automatic measurement in optical metrology is presented. This paper deals with the theoretical and practical aspects of the construction of the system, emphasizing methods used to reach a 0.5 mm precision for the measurements obtained by the image analysis processing.

Résumé
Nous présentons un système d'analyse d'images dédié à la mesure automatique de para mètres en métrologie optique. L'article décrit les aspects théoriques et pratiques de la mise en oeuvre, en insistant sur les techniques utilisées pour obtenir une précision de 0,5 mm sur les mesures effectuées.

PACS
0705P - Image processing.
0760 - Optical instruments and equipment.

Key words
Image analysis -- Automation -- Measuring methods -- Image processing -- Algorithms -- Optical systems -- Optics -- Physics -- Metrology


© EDP Sciences 1996