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Microsc. Microanal. Microstruct.
Volume 1, Number 2, April 1990
Page(s) 127 - 140
Microsc. Microanal. Microstruct. 1, 127-140 (1990)
DOI: 10.1051/mmm:0199000102012700

On the secondary X-ray emission induced by electron irradiation in thin samples

Eric Van Cappellen1, Rudy Deblieck2 et Dirk Van Dyck1

1  University of Antwerp, RUCA, Groenenborgerlaan 171, B-2020 Antwerp, Belgium
2  DSM Research, Postbus 18, NL-6160 Geleen, The Netherlands

In the present paper earlier results in the field of secondary X-ray emission in binary compounds are reviewed and extended. A general expression for the X-ray fluorescence emission in electron excited (scanning) transmission electron microscopy ((S) TEM) specimens is derived. Based on this expression computer simulations are carried out for wedge shaped targets, so as to investigate characteristic fluorescence emission as a function of specimen thickness, wedge angle and primary accelerating voltage and this for various electron impact directions and X-ray detection directions. The general conclusion is that a small change in specimen geometry can have a serious influence on the secondary emission intensity.

Une expression générale pour l'émission secondaire de rayons-X induite par électrons dans des composés binaires est dérivée. Des simulations sur ordinateur utilisant cette expression ont été faites pour des échantillons cunéiformes, cette géometrie étant la plus fréquente en microscopie en transmission conventionelle et à balayage. Ceci a permit d'étudier la fluorescence caractéristique en fonction de l'épaisseur de l'échantillon tout en changeant la géometrie de la cible (l'angle du coin) ainsi que le potentiel d'accélération du microscope. Les influences de l'orientation de l'échantillon dans le faisceau d'électrons et de la direction de détection des rayons-X ont aussi été analysées. Ces calculs ont permis de constater que la géometrie de l'échantillon influence fortement la fluorescence caractéristique alors que les autres paramètres mentionnés plus haut n'ont qu'une importance secondaire.

0785F - X- and gamma-ray sources, mirrors, gratings, and detectors.

Key words
X ray emission -- Secondary emission -- Fluorescence -- Modelling -- Coordinate system -- Computerized simulation -- Geometrical shape -- Binary compounds -- Theoretical study

© EDP Sciences 1990

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