Microsc. Microanal. Microstruct. 1, 1-22 (1990)
DOI: 10.1051/mmm:01990001010100

The parameterless correction method in X-ray microanalysis

Eric Van Cappellen

University of Antwerp, RUCA, Groenenborgerlaan 171, B-2020 Antwerp, Belgium

Abstract
The parameterless correction method to perform absorption and fluorescence corrections in X-ray microanalysis of tranparent (S.) TE.M. specimens is presented and supported. This correction procedure requires no external parameters such as foil thickness or density, and no coefficients such as mass absorption coefficients or fluorescence yield coefficents and is therefore suitable for fast routine thin film microanalysis. Furthermore, thickness dependent artefacts such as surface and contamination layers and crystallographic orientation effects (the Borrmann effect) can be detected by the method.

Résumé
Une méthode permettant de corriger les effets d'absorption et de fluorescence en microanalyse X d'échantillons transparents pour la microscopie en transmission (S.) TE.M. est présentée. Cette procédure n'exigeant la connaissance d'aucun paramètre comme l'épaisseur ou la densité de l'échantillon ni d'aucun coefficient comme les coefficients d'absorption de masse ou encore des coefficients de rendement de fluorescence, est extrêmement utile et pratique pour effectuer des analyses de routine d'échantillons minces et a été appelée : "parameterless correction method". De surcroit tout effet dépendant de l'épaisseur de l'échantillon, comme la présence de couches de surface ou l'effet d'orientation crystallographique (l'effet Borrmann), peuvent-être détectés par cette méthode.

PACS
6110N - X-ray diffraction.
8170 - Methods of materials testing and analysis.

Key words
Corrections -- Absorption -- Fluorescence -- Microanalysis -- X ray -- Sample -- Transparent material -- Transmission electron microscopy -- Metrology -- Measurement science


© EDP Sciences 1990