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Issue
Microsc. Microanal. Microstruct.
Volume 1, Number 4, August 1990
Page(s) 289 - 297
DOI https://doi.org/10.1051/mmm:0199000104028900
Microsc. Microanal. Microstruct. 1, 289-297 (1990)
DOI: 10.1051/mmm:0199000104028900

A simple UHV electron projection microscopy

Roger Morin, Alain Gargani et Francis Bel

CRMC2-CNRS, Campus de Luminy, Case 913, 13288 Marseille Cedex 09, France


Abstract
A simple electron projection microscope operating in ultra high vacuum is described. Images of holes in carbon membranes are obtained up to a magnification of 90000. On such details, this electron projection microscopy appears superior than scanning electron microscopy in terms of contrast, resolution and acquisition time of an image.


Résumé
On décrit un microscope électronique à projection de construction simple fonctionnant en ultra-vide. Des images de trous dans des membranes de carbone sont obtenues avec un grandissement allant jusqu'à 90000. Sur de tels détails, cette microscopie électronique à projection apparait plus performante que la microscopie à balayage en termes de contraste, résolution et temps d'acquisition pour l'obtention d'une image.

PACS
8170 - Methods of materials testing and analysis.

Key words
Projection method -- Electron microscopy -- Ultrahigh vacuum -- Performance -- Membranes -- Carbon -- Experimental study


© EDP Sciences 1990