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Microsc. Microanal. Microstruct.
Volume 5, Number 1, February 1994
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| Page(s) | 71 - 77 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/mmm:019940050107100 | |
Microsc. Microanal. Microstruct. 5, 71-77 (1994)
DOI: 10.1051/mmm:019940050107100
ESPCI/LPQ, CNRS URA 1428, 10 rue Vauquelin, 75231 Paris Cedex 05, France
0779L - Atomic force microscopes.
Key words
Atomic force microscopy -- Atomic force microscope -- Ball -- Latex -- Silica -- Layers -- Calibration -- Control equipment -- Instrumentation -- Experimental study -- Microscope tip -- Metrology -- Physics -- Organic polymers
© EDP Sciences 1994
DOI: 10.1051/mmm:019940050107100
Monocouches de billes de latex ou de silice : utilisation pour la calibration et pour le contrôle des pointes en AFM
M.-C. Boisset et C. FrétignyESPCI/LPQ, CNRS URA 1428, 10 rue Vauquelin, 75231 Paris Cedex 05, France
Abstract
We propose the use of latex or silica balls deposited on mica or silicon to control the calibration of the scanners in AFM. A statistical method for the height measurement, based on an histogram analysis is given. Moreover, it is shown that the same samples can be used for tip characterisation.
Résumé
Nous proposons d'utiliser des billes de latex ou de silice déposées sur mica ou sur silicium pour contrôler la calibration des têtes de déplacement en AFM. Une méthode statistique de mesure des hauteurs par histogramme est donnée. De plus, il est montré que les mêmes échantillons peuvent servir à caractériser la qualité de la pointe.
0779L - Atomic force microscopes.
Key words
Atomic force microscopy -- Atomic force microscope -- Ball -- Latex -- Silica -- Layers -- Calibration -- Control equipment -- Instrumentation -- Experimental study -- Microscope tip -- Metrology -- Physics -- Organic polymers
© EDP Sciences 1994