Microsc. Microanal. Microstruct. 3, 517-528 (1992)
DOI: 10.1051/mmm:0199200306051700

Interactive electron energy-loss elemental mapping by the "Imaging-Spectrum" method

Jean-Louis Lavergne^{1, 2}, Jean-Michel Martin¹ et Michel Belin<sup>1

1</sup>  Laboratoire de Tribologie et Dynamique des Systèmes, CNRS URA 855, Ecole Centrale de Lyon, Département de Technologie des Surfaces, BP 163, 69131 Ecully, France
²  KODAK-PATHE, Laboratoire d'Analyses, Z.I. Nord, 71102 Chalon-sur-Saone, France

Abstract
We have developed a method which performs chemical imaging with great interactivity between a selected filtered image and the EELS spectrum of a specimen or of a selected area of this specimen. This method, called "Imaging-Spectrum", uses the capabilities of the Energy Filtering Transmission Electron Microscopy (EFTEM) fitted with a personal computer. The experiments are performed with a ZEISS CEM 902 coupled with a KONTRON image analysis system. A software has been developed which allows off-line work with an IBM AT. Comparison is made between this method and the Spectrum-Imaging technique and the future of filtered imaging is discussed. Experiments were carried out to show the spectral and spatial resolution of this method and dose calculations were achieved. We demonstrate that such a technique is of interest for fast high resolution chemical mapping.

Résumé
Nous exposons le principe d'obtention d'images chimiques à l'aide d'une méthode permettant un dialogue interactif entre, d'une part l'image et d'autre part le spectre de pertes d'énergie électronique d'un échantillon ou d'une zone d'un échantillon. Cette méthode baptisée "Image-Spectre" utilise les possibilités offertes par la microscopie électronique à transmission filtrée en énergie (EFTEM) couplée avec un micro-ordinateur. Les expériences ont été réalisées avec un microscope ZEISS CEM 902 et un système de traitement d'images KONTRON. Un logiciel que nous avons développé sur micro-ordinateur permet de travailler après acquisition. Nous comparons cette technique avec la méthode Spectres-Image et évaluons l'avenir de la microscopie filtrée en énergie. Nous discutons de la résolution spectrale et spatiale de la méthode ainsi que de la dose nécessaire pour obtenir une série d'images par la méthode "Image-Spectre". Nous montrons l'intérêt d'une telle technique pour l'obtention d'une cartographie chimique à haute résolution spatiale.

PACS
0705H - Data acquisition: hardware and software.
0781 - Electron and ion spectrometers.
8280 - Chemical analysis and related physical methods of analysis.
8170J - Chemical composition analysis, chemical depth and dopant profiling.

Key words
Data acquisition systems -- Image analysis -- EEL spectroscopy -- Energy filtering -- Chemical composition -- Image processing -- Spatial resolution -- Carbon -- Boron nitrides -- C -- BN -- B N


© EDP Sciences 1992