Microsc. Microanal. Microstruct. 5, 19-29 (1994)
DOI: 10.1051/mmm:019940050101900

Microscope à double détection : STOM-AFM, principe et résultats

Fadi Baida, Chekib Mered et Daniel Courjon

Laboratoire d'Optique P.M. Duffieux, URA 214 CNRS, Université de Franche-Comté, UFR Sciences, Route de Gray 25030 Besançon Cedex, France

Abstract
Near field optical microscopy provides a high resolved map of the light intensity very close to the object surface. This intensity is directly correlated with the profile and with the physico-chemical nature of the material constituting the object. A hybrid microscope has been built to partially decorrelate these data. It combines an AFM (Atomic Force Microscopy) détection with a STOM (Scanning Tunneling Optical Microscopy) detection. The information can be obtained simultaneously or sequentially on the same scanned area. After a technical description of the realized device, we will conclude by presenting the first results.

Résumé
Le microscope optique en champ proche (SNOM) fournit une cartographie haute résolution de l'intensité lumineuse au voisinage immédiat de la surface de l'objet. Cette intensité est corrélée à la fois au profil géométrique de la surface et à la nature physico-chimique des matériaux constituant l'objet à imager [1]. Afin de décorréler même partiellement ces informations, un microscope hybride a été réalisé. Il combine une détection AFM (Atomic Force Microscope) avec une détection STOM (Scanning Tunneling Optical Microscope), variante technique du microscope optique en champ proche. Les informations peuvent être obtenues simultanément ou séquentiellement sur le même site d'exploration. A la suite du descriptif technique du travail effectué, nous conclurons par la présentation des premiers résultats.

PACS
0779 - Scanning probe microscopes and components.
6837 - Microscopy of surfaces, interfaces, and thin films.

Key words
Optical microscopy -- Detection -- Atomic force microscope -- Theoretical study -- Experimental study -- Photon scanning tunneling microscopy -- Metrology -- Physics


© EDP Sciences 1994